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為什么大家都在用化學機械拋光機,它到底有什么作用?

點擊次數(shù):1396 更新時間:2022-09-13
  化學機械拋光機是一種用于電子與通信技術、航空、航天科學技術領域的工藝試驗儀器。它是一款的CMP化學機械拋光系統(tǒng),采用半導體工業(yè)級的設計理念,為科研工作者、CMP耗材研發(fā)生產企業(yè)和CMP工藝開發(fā)企業(yè)提供了一套符合半導體工業(yè)要求的設備,可兼容多英寸晶片樣品。 

  化學機械拋光機原理:
  化學機械拋光是金屬表面通過有規(guī)則溶解達到光亮平滑。在化學拋光過程中,鋼鐵零件表面不斷形成鈍化氧化膜和氧化膜不斷溶解,且前者要強于后者。由于零件表面微觀的不一致性,表面微觀凸起部位優(yōu)先溶解,且溶解速率大于凹下部位的溶解速率;而且膜的溶解和膜的形成始終同時進行,只是其速率有差異,結果使鋼鐵零件表面粗糙度得以整平,從而獲得平滑光亮的表面。拋光可以填充表面毛孔、劃痕以及其它表面缺陷,從而提高疲勞阻力、腐蝕阻力。

 


 

  化學機械拋光機的作用:
  1.可以達到整平表面,清除毛刺毛邊的作用。
  2.可達不銹鋼配件鏡面光澤,凹凸性降低,反射能高,流動性更快。
  3.處理后的工件表面光滑細密,表面的亮度比機械拋光更好,可接受異形件,任何部件均可處理,使用工藝簡捷,效果超過電解(拋光)拋光。
  4.表面機械力產生的硬化層被化學藥水溶解掉,產生的應力消除,優(yōu)化電焊性能。
  5.比機械拋光更好,其顯露和倒伏的毛刺可*剔除,內壁不產生電弧火花,不銹鋼配件顯示面光滑平整。表面被鈍化,鐵元素溶解的多從表面熔解,配件表面的平整性顯著提高并賈強,增加不銹鋼弓箭表面的抗氧化性,標面亮度,光滑性和衛(wèi)生性都可明顯踢高。
  6.化學機械拋光已經打到美國標準,另外XPS等檢測結果也符合半導體SEMI標準。

  特點:
  1.化學機械拋光機內聯(lián)溫度傳感器;
  2.內聯(lián)摩擦、聲發(fā)射研究拋光過程;
  3.可安裝多種晶圓尺寸;
  4.可控制的下壓力和速度;
  5.集成的共聚焦3D顯微鏡,可以用nm分辨率表征拋光墊表面。
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