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分享!化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)的主要特色和技術(shù)指標(biāo)

點(diǎn)擊次數(shù):1235 更新時(shí)間:2022-11-26
  化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)是一種用于電子與通信技術(shù)、航空、航天科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域的工藝試驗(yàn)儀器。它可提供多種拋光工藝來優(yōu)化產(chǎn)品開發(fā)。包括廣泛的速度范圍、閉環(huán)加載力控制、多功能晶圓夾具和自動(dòng)漿料輸送系統(tǒng)。化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)在拋光過程中可以監(jiān)測多個(gè)在線信號(hào)。除了拋光晶片和基板外,該拋光機(jī)還配有在線三維形貌儀。這種組合提供了有關(guān)表面、摩擦和磨損如何變化的信息。
 
  化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)一般采用空氣干燥,不要用機(jī)器烘干。吸油性:其切削力弱于羊毛切削力,不會(huì)留下旋紋,能有效去除中度的漆面缺陷。拋光盤底面具有自動(dòng)粘貼功能,可以快速轉(zhuǎn)換拋光輪。適用于車內(nèi)普通漆、透明漆的磨光、拋光,一般用于毛料拋盤后拋光、打蠟。使用方法:溫水洗凈,擠去水份,置于潔凈處晾干。請(qǐng)勿使用肥皂或清潔劑清洗,不可干洗或機(jī)洗,不要用梳毛刷或螺絲刀清洗海綿輪。兔毛拋盤:兔毛拋盤位于毛線拋盤與海綿拋盤之間,底部有自動(dòng)粘貼,可用來清潔車身。
 

 

  產(chǎn)品主要特色:
  1、CMP拋光頭:采用氣囊加載模式,3區(qū)壓力分區(qū)控制,可得到良好的工業(yè)級(jí)拋光效果;
  2、自動(dòng)上下片,自動(dòng)拋光,干進(jìn)干出;
  3、拋光墊修整器:擺臂式設(shè)計(jì),拋光墊分10區(qū)修整控制,可調(diào)整修整器下壓力及每個(gè)區(qū)域的修整時(shí)間,可保證拋光墊高水平修整;
  4、拋光墊修整器:具有在線修整與離線修整兩種模式;
  5、工藝數(shù)據(jù)可實(shí)時(shí)監(jiān)測;
  6、可存儲(chǔ)多個(gè)Recipe;
  7、帶全自動(dòng)手臂及自動(dòng)雙面清洗設(shè)備模塊。
 
  化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)的技術(shù)指標(biāo):
  1、采用去離子水粘貼硅片或采用真空吸附硅片進(jìn)行拋光,摒棄傳統(tǒng)的涂蠟粘貼硅片的方式,有利于拋光后硅片的清洗;
  2、具備背壓功能,能夠顯著提升拋光的均勻性;
  3、具備拋光終點(diǎn)檢測系統(tǒng),防止過拋。
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