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美國SVT RF/射頻等離子源

美國SVT RF/射頻等離子源

更新時間:2024-11-28

產(chǎn)品型號:2.75/4.5“/6.0''

廠商性質(zhì):經(jīng)銷商

生產(chǎn)地址:

產(chǎn)品報價:

產(chǎn)品特點:美國SVT RF/射頻等離子源產(chǎn)品簡介:
美國SVT公司的RF等離子源適用于多個公司多種型號。
法蘭接口包括: 2.75''、4.5''、6''。
等離子源用于離解雙原子氮、氧和氫。離解過程中不會產(chǎn)生高能離子。
產(chǎn)生的束流含有零離子,有助于生長高質(zhì)量的薄膜,也可以在不損傷襯底表面的情況下清洗襯底。

產(chǎn)品詳情

美國SVT RF/射頻等離子源適用于多個公司多種型號

法蘭接口包括: 2.75''、4.5''、6''。

等離子源用于離解雙原子氮、氧和氫。離解過程中不會產(chǎn)生高能離子。

產(chǎn)生的束流含有零離子,有助于生長高質(zhì)量的薄膜,也可以在不損傷襯底表面的情況下清洗襯底。

高生長率等離子體源能夠在生長速率大于4μm/hr的情況下生長高質(zhì)量的薄膜。

光闌和等離子腔形狀可以顧客定制,以滿足客戶對不同流量的需求。

軟件作為可選項,能夠?qū)崿F(xiàn)自動操作,允許用戶保存數(shù)據(jù),編寫工藝程序。


美國SVT RF/射頻等離子源特點

可提供N2、O2、H2等離子源

生長速率大于4μm/hr

源設計有等離子體觀察窗口

光闌和等離子腔形狀可以客戶定制

RF自動調(diào)節(jié)可選

RF 功率200-600W
氣體流量0.1-10SCCM
法蘭4.50’’ CF
源直徑2.35’’
水冷卻0.17GPM 流量(0.227m3/hr)
RF匹配網(wǎng)絡手動調(diào)節(jié)(自動調(diào)節(jié)可選)
等離子腔PBN,氧化鋁,石英










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