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SVT公司 RHEED及圖像獲取系統(tǒng)

SVT公司 RHEED及圖像獲取系統(tǒng)

更新時(shí)間:2024-11-28

產(chǎn)品型號(hào):RHEED

廠商性質(zhì):經(jīng)銷商

生產(chǎn)地址:

產(chǎn)品報(bào)價(jià):

產(chǎn)品特點(diǎn):SVT公司 RHEED及圖像獲取系統(tǒng)
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
反射高能電子衍射儀是MBE制程的一部分。在薄膜沉積過(guò)程中,RHEED給客戶提供了重要的信息。
    首先,RHEED圖像表征樣品表面的狀態(tài)。
    其次,其強(qiáng)度震蕩可以提供生長(zhǎng)速率的量化數(shù)據(jù)。
        RHEED提供了清晰的焦點(diǎn),以及衍射圖樣,并能夠在屏幕上高亮度顯示。
    電子光學(xué)部件有磁性保護(hù)罩,便于提高操作性。

產(chǎn)品詳情

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

反射高能電子衍射儀是MBE制程的一部分。在薄膜沉積過(guò)程中,RHEED給客戶提供了重要的信息。

    首先,RHEED圖像表征樣品表面的狀態(tài)。

    其次,其強(qiáng)度震蕩可以提供生長(zhǎng)速率的量化數(shù)據(jù)。

    RHEED提供了清晰的焦點(diǎn),以及衍射圖樣,并能夠在屏幕上高亮度顯示。

    電子光學(xué)部件有磁性保護(hù)罩,便于提高操作性。

 

可選部件:RHEED圖像分析硬件和軟件系統(tǒng),可以實(shí)時(shí)獲取RHEED圖樣,使用戶便于觀察和控制薄膜生長(zhǎng)質(zhì)量。完整的RHEED系統(tǒng)包括 10KeV RHEED電子束源,電源及配套光纜。


技術(shù)參數(shù)

束流電壓  10KV
燈絲電流   3A
發(fā)射電流 5A
光斑大小1.0mm   (17’’/1075px距離
烘烤溫度230℃

 

RHEED Electron Source
2.75"和4" 法蘭
RHEED Power Supply
RHEED Image Analysis Software
高分辨CCD 或相機(jī)
實(shí)時(shí)分析
2D/3D分析
RHEED Optional Components

 

主要特點(diǎn)

實(shí)時(shí)檢測(cè)外延生長(zhǎng)

測(cè)量薄膜生長(zhǎng)速率

單晶薄膜的生中速率測(cè)量

光學(xué)部件帶有磁性罩

 

 

 

 

 

 

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