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臺階儀

臺階儀

更新時間:2024-11-28

產(chǎn)品型號:

廠商性質(zhì):經(jīng)銷商

生產(chǎn)地址:

產(chǎn)品報價:

產(chǎn)品特點:臺階儀能夠在同一測試平臺上運(yùn)行多種測試,產(chǎn)品的組合可根據(jù)不同的技術(shù)應(yīng)用要求而改變。針對樣品的同一區(qū)域可進(jìn)行不同模式的實驗檢測,模式切換可實現(xiàn)全自動化。多項技術(shù)的整合能夠使不同技術(shù)在同一檢測儀上充分發(fā)揮各自的優(yōu)勢。該項整合技術(shù)不僅有利于數(shù)據(jù)的綜合分析,也可以減少維護(hù)成本,從而提高效率。

產(chǎn)品詳情

臺階儀

臺階儀集合了共焦光學(xué)形貌儀,WLI白光干涉形貌儀,原子力顯微鏡,接觸和非接觸式雙模式表面形貌檢測。

項 目 簡 述

參數(shù)說明

1.共焦

  • 可快速垂直掃描的旋轉(zhuǎn)共焦技術(shù)。

  • 使用高數(shù)值孔徑 (0.95) 以及高倍數(shù)的 (150) 全視野3D鏡頭,用以表征坡度分析 (大斜率<干涉測量>: 72° vs 44°) 。

  • 具有光學(xué)形貌上高的橫向分辨率,附有5百萬自動分辨率的CCD相機(jī), 空間下樣可調(diào)至0.05um,是表面特征以及形貌的測量的理想配置。

  • 在測量表面粗糙度/表面反射率上無限制

  • 應(yīng)用于透明層/薄膜。

  • 兼容亮視野&暗視野; 光學(xué)DIC。

  • 長距離遠(yuǎn)攝鏡頭是用以測量高縱橫比以及坡度特性的理想之選。

  • 穩(wěn)定性。

2.干涉儀(WLI)

  • Z向高分辨率

  • 兼具相移(PSI)以及垂直掃描(VSI)模式

  • Z向分辨率可獨(dú)立放大

  • 四色CCD 相機(jī),用戶可自選的LED光源 (白光、綠光藍(lán)光和紅光)

  • 高達(dá)五百萬像素的可自動分辨的CCD 相機(jī)

  • 快速處理器

  • 自動對焦

3.原子力顯微鏡

  • 探針掃描可用于大型模板

  • X、YZ三向可達(dá)原子級分辨率

  • 大壓電探針掃描XY: 達(dá)到 110x110um

4.變焦

  • 粗糙表面分析

  • 快速分析

  • 一臺設(shè)備上集成非接觸式白光干涉形貌儀 高精度原子力顯微鏡










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